MarSurf XC 20輪廓測量儀

技術參數
掃描長度:（X方向）：0.2mm至（zhì）200mm
測量範圍:（Z方向）：50mm，適用於350mm測臂 25mm，適用於175mm測臂
測（cè）量係統（tǒng）:（X方向）：高精度光柵測量係統
測量係統:（Z方向）：電感（gǎn）傳感器*高精度，高線性度（dù）
測針分辨率:（Z方向）：0.38μm，適用於350mm測臂；,0.19μm，適用於175mm測臂
測（cè）量係（xì）統分辨率（lǜ）（Z方向）：0.04μm
行（háng）程偏差： 行（háng）程（chéng）升角（jiǎo）：在光滑表麵，取決於表麵（miàn）傾斜程度：向下降低時不超過88°，向上上升時不超過77°
測點距離(X方向)：l.Oμm至8.Oμm
測（cè）量速度(X方向):0.2mm/s至4mm/s調整間距（jù）O.lmm/s
測臂長度：175mm，350mm
測針半徑（jìng）：25μm