
技術參數
測量範圍:X軸:100mm,Z軸:50mm
分辨率:X軸(zhóu):0.05um,Z軸:0. 2um,精度(20℃時)X軸:±(1+2L/100) um,Z軸:±(3+|2H|/25) um
驅動裝置線性度:0.8um/lOOmm
驅動裝置垂直(zhí)位移:250mm
驅動裝置(zhì)傾斜範圍:±45°
測頭頂部定位:向上/向下
位移方向:向前/向後
測量(liàng)力:30mN (3gf)
測針追(zhuī)蹤角度:向上(shàng)傾斜77°***向下傾斜87°***
驅動速(sù)度軌跡:0. 02~2mm/s,可分七級設置
回縮:5mm/s
定位:0.1~5mm/s可通過控製台手動設置
檢出方式:反射線性編(biān)碼器
數據輸出:通(tōng)過RS-232C接口(kǒu)
操作溫度:15℃至25℃
電(diàn)源供給:100VAC 240VAC