產品(pǐn)詳情

XC-2 輪廓測量儀

型號:XC-2
功能:輪廓測量軟(ruǎn)件技術特征:建立回歸直(zhí)線和圓形。建(jiàn)立點、交點、自由點、中心點、最(zuì)高點和最低點。建立(lì)坐標係統(tǒng)。 計算半徑、距離、角度、坐標及線性偏差。實際值與標稱值比較。公差監(jiān)控。測量程序自動運行。

參數:
項目技術數據
掃描長度(X方向)0.2mm至120mm
測量範(fàn)圍(Z方向)50mm適用於350mm 側臂
測量係統(X方向(xiàng))高精度(dù)光柵測量係統(出廠經激光幹(gàn)涉儀校準)
測量係統(Z方向)電感傳(chuán)感器,高精度,高(gāo)線(xiàn)性度
采樣速率(X方向)1.0μm至8.0μm
測量係統分辨率(Z方向)0.04μm
行程偏差<1μm
測力(lì)(Z方向)1mN 至(zhì) 120mN,向下和向上
行(háng)程升角 在光(guāng)滑表麵傾斜程度(dù)向下降低時不超過88°,向上上升時不超過77°
測量速度(X方向)0.2mm/s 至 4mm/s
調整間距0.1mm/s
接觸速度(Z方向(xiàng))0.1mm/s 至 1mm/s 可調
定(dìng)位速度(X方向)及返回速度0.1mm/s 至 1mm/s 可(kě)調
定位速度(Z方向)0.2mm/s 至 8mm/s
測杆長度350mm
測針半徑25μm